結構組成

1. **爐體主機**：雙層風冷爐殼，外殼低溫防燙傷；爐膛高純氧化鋁陶瓷纖維；加熱元件：電阻絲 / 硅碳棒（≤1400℃）、硅鉬棒（1400~1700℃）；爐管可選石英管、剛玉管、310S 不銹鋼管。

2. **氣路與真空系統**：上下法蘭密封，MFC 質量流量計，可抽真空、通入 Ar/N?/H?等氣氛；大型款可多路氣體。

3. **電控系統**：多段程序 PID 溫控，單 / 多溫區獨立控溫；超溫、斷偶、漏電、氣壓聯鎖保護；支持觸摸屏 + 上位機通訊。

4. **樣品承載**：頂部懸掛樣品、底部坩堝承載；大型機型常配操作平臺、液壓開合爐體。

技術參數（大型款參考）

- 最高溫度：1200 / 1400 / 1600 / 1700℃

- 控溫精度：±1℃；恒溫區均勻度：±1~3℃（多溫區更佳）

- 升溫速率：0.1~40℃/min 可調

- 爐管口徑：Φ80mm 以上，大型定制可達 Φ500mm+，恒溫段長度可達數米

- 氣氛：真空（10?3Pa 級可選）、惰性、還原、氧化氣氛

- 供電：380V 三相大功率

## ? 優勢（對比臥式管式爐）

1. **垂直重力場**：適合懸浮樣品、垂直沉積 CVD、流化床、自上而下熱解，物料沉降不受干擾；

2. **樣品懸掛**：不接觸爐管底部，避免坩堝污染，可原位淬火；

3. **大長恒溫區**，多溫區分段控溫，適合長試樣、大樣品；

4. 爐體豎直占地小；大型款配平臺，上下裝料。