參數(shù)

- 最高溫度：1200℃，**長期推薦工作≤1100℃**

- 加熱元件：鐵鉻鋁電阻絲；K 型熱電偶

- 溫控：PID 多段可編程（30~50 段），控溫精度 ±1℃，恒溫區(qū)均勻度 ±2~5℃；**可設(shè)置慢速降溫段（退火關(guān)鍵）**

- 爐管：高純石英管（潔凈、低析出，適合粉體 / 薄膜樣品）；也可選剛玉管

- 真空系統(tǒng)：標(biāo)配機(jī)械泵，極限真空 **10?3Pa**；KF 法蘭密封；可升級分子泵至高真空

- 氣氛：N?、Ar 惰性保護(hù)；謹(jǐn)慎使用高溫 H?（石英管易損壞，需要氫氣安全模塊）

- 爐體：雙層風(fēng)冷爐殼，對開開啟式爐膛，氧化鋁纖維保溫

- 升溫速率：0.1~10℃/min，退火工藝多用 0.5~3℃/min 慢升慢降

典型退火應(yīng)用

1. 金屬薄片、合金樣品真空去應(yīng)力退火，防氧化

2. 半導(dǎo)體基片、薄膜晶化退火、缺陷修復(fù)

3. 納米粉體、鋰電 / 催化材料脫氣、晶相調(diào)控

4. 陶瓷、氧化物晶體緩慢退火，消除熱應(yīng)力，防止開裂

5. 碳材料高溫?zé)崽幚?/p>

與普通管式爐的區(qū)別（退火專項優(yōu)化）

1. **程序帶慢速冷卻段**：普通管式爐只負(fù)責(zé)升溫保溫；退火爐重點控制降溫曲線，避免急冷產(chǎn)生新應(yīng)力

2. **氣密性更高**：長時間保溫 + 緩慢通氣維持低殘氧，防止樣品氧化

3. 氣路帶穩(wěn)壓、浮子 / MFC 流量計，可**邊抽真空邊換氣**，置換管內(nèi)空氣

4. 壓力保護(hù)、泄壓閥，防止管內(nèi)超壓

國產(chǎn)價格（臥式單溫區(qū)，石英管，不含泵 / 含泵）

1. Φ50/Φ60 主流科研款（裸機(jī)，不含真空泵）：**16000~24000 元**

2. 整套（爐體 + 石英管 + 機(jī)械泵 + 基礎(chǔ)氣路，可直接做真空退火）：**22000~32000 元**

3. 選配加價

   - MFC 質(zhì)量流量計（1~3 路）：+6000~18000

   - 分子泵高真空機(jī)組：+12000 起

   - 氫氣安全模塊：+8000 起

   - 觸摸屏 + 電腦曲線記錄：+2000~5000